CIS生产工艺上使用的Cassette/ Magazine自动清洗的装置，

使用通过Shower Nozzle喷洒的 DIW或者Hot DIW清洗后使用N2及CDA、可视光Lamp的辐射热干燥的设备

Feature

• 1. 由于多关节Robot的自动搬送 (Full Auto System)

• 2. High Throughput 实现(Cleaning Process 最优化)

• 3. Compact设计节省Footprint

• 4. 提供 高效率 Clean Uniformity & Dry Solution

• 5. FAB Automation System 对应(OHT, RGV, Operator)

• 6. Cassette/Magazine Stock Area(清洗前, 后 Cassette/Magazine 保管)

• 7. SEMI Standard, CE Mark 标准

Application

• - CIS 生产工艺