半导体生产工艺中使用的200mm POD安装在清洁用Tray上，

使用In-Line构成的Conveyor进行搬送，同时利用通过Shower Nozzle喷射的DIW进行清洗后，喷涂 Hot CDA并干燥的自动清洗设备

Feature

• 1. 由于Conveyor的自动搬送
  
• 2. 提供 高效率 Clean Uniformity & Dry Solution
  
• 3. SEMI Standard 标准
  
• 4. High Throughput 实现 (Cleaning Process的最优化)
  

Application

• -半导体清洗工艺, 200mm(8")