Exhaust Reduction System
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以湿法处理方式排放半导体、LED、OLED、LCD等制造工序产生的有害气体,为制造现场提供干净环境的设备。
Feature
- 1. 两个包装的洗涤器区
- 2个打包的洗涤器区域构成及各区域的单独循环,降低效率高
- 降低效率 : ≤ 90%
2. 通过Compact设计节省Footprint
3. 水耗减少
4. 以一般和闲置模式控制水流
5. 泵及重力排水
6. 自动减震器的旁路功能
Application
- 半导体、LED、OLED、LCD制造工程