LED工程中利用物理/化学的力量从Spin Chamber中去除Sapphire Wafer上的Metal Layer和Photo-Resist的设备

Feature

• 1. 由 Index Robot 和 Transfer Robot 自动返回 Wafer

• 2. 实现Metal污染最小化

• 3. 采用Wafer的Metal回收功能

• 4. 实现Energy节省模式

• 5. 设备的 Compact( 节省 Footprint)

Application

• - LED工序，100mm