为确保清洁度、防止再污染、提高生产收率的Filter & Valve冲洗设备

Feature

• 1. 具有去除管道内残留的DIW或药品的自动冲洗功能，防止再次污染

• 2. 采用专用安装夹具确保便利性

• 3. 适用于管道部位无金属的零件

• 4. 在半导体工程设备上冲洗后安装，提高生产效率

• 5. SEMI Standard, CE Mark标准

Application

• - DIW Filter, 化学 Filter, IPA Filter, 半导体工艺工具阀