CIS 생산공정에 사용되는 Cassette/ Magazine을 자동으로 세정하는 장치로써 Shower Nozzle을 통해 분사되는 DIW 또는 Hot DIW를 이용하여 세정 후 N2 및 CDA, 가시광 Lamp의 복사열을 이용하여 건조하는 장비

Feature

• 1. 다관절 Robot에 의한 자동 반송(Full Auto System)
• 2. High Throughput 구현(Cleaning Process 최적화)
• 3. Compact한 설계로 Footprint 절감
• 4. 고효율 Clean Uniformity & Dry Solution 제공
• 5. FAB Automation System 대응(OHT, RGV, Operator)
• 6. Cassette/Magazine Stock Area(세정 전, 후 Cassette/Magazine 보관)
• 7. SEMI Standard, CE Mark 기준

Application

• - CIS 생산공정