반도체 제조공정에 사용되는 실리콘 웨이퍼 세정용 고온 DIW를 공급하는 시스템으로 

할로겐 램프와 석영유리 이중구조, 비접촉 가열 방식을 적용하여 불순물 오염을 방지하고 

고청정성 및 DIW-heating system상 고효율 컴팩트 디자인을 구현하는 시스템입니다.

Feature

• 1. 하이슈로 소재 적용으로 높은 청정도 구현 및 교차오염 방지
• 2. Heating : 석영 유리 및 할로겐 램프
• 3. Piping : Fluoropolymer application (PFA, PTFE, PVDF) 
• 4. 다양한 라인업
• 5. 12L ~ 48L HDIW 공급모델
• 6. 높은 가열 효율
• 7. 과열, 화재, 누수, 순간 정전, 지진 등 안전대책 적용
• 8. SEMI Standard, CE Mark 기준

Application

• - 반도체 웨이퍼 Rinse 공정