반도체, LED, OLED, LCD 등 제조공정에서 발생하는 유해가스를

습식처리 방식으로 배출하여 제조현장에 깨끗한 환경을 제공하는 장비

Feature

• 1. 2개의 포장된 스크러버 구역
• - 2개의 패킹된 스크러버 구역 구성 및 각 구역별 별도 순환으로 저감효율 높음
  
• - 저감효율 : ≤ 90%
  
• 2. Compact한 설계로 Footprint 절감
• 3. 물 소비 감소
• 4. 일반 및 유휴 모드로 물 유량 제어
  
• 5. 펌프 및 중력 배수
• 6. 오토 댐퍼에 의한 바이패스 기능

Application

• - 반도체, LED, OLED, LCD 제조공정