반도체 생산공정에서 사용되는 200mm POD를 세정용 Tray에 장착하여 In-Line으로 구성된 Conveyor를 이용해 반송하면서 Shower Nozzle을 통해 분사되는 DIW를 이용하여 세정한 후 Hot CDA를 분사하여 건조하는 자동 세정 장비

Feature

• 1. Conveyor에 의한 자동 반송
• 2. 고효율 Clean Uniformity & Dry Solution 제공
• 3. SEMI Standard 기준
• 4. High Throughput 구현 (Cleaning Process의 최적화)

Application

• - 반도체 세정 공정, 200mm(8")