청정도 확보, 재오염 방지, 생산 수율 향상을 위한 Filter & Valve 플러싱 장비

Feature

• 1. 배관 내 잔류 DIW나 약품을 제거하는 자동 플러싱 기능으로 재오염 방지
• 2. 전용 설치 지그 적용으로 편의성 확보
• 3. 배관 부위에 금속이 없는 부품 적용
• 4. 반도체 공정장비에 플러싱 이후 장착하여 생산 수율 향상
• 5. SEMI Standard, CE Mark 기준

Application

• - DIW Filter, 화학 Filter, IPA Filter, 반도체 공정 도구 밸브