시각적으로 확인되는 정형 혹은 비정형 결함 패턴을 자동으로 검사하는 장비 OLED 증착을 사용하여 Metal Mask(FMM,OMM) 검사 가능

Feature

• 1. 메탈 마스크의 다양한 표면 반사도를 고려한 촬영구도를 동적으로 운영하여 최적의 마스크 영상 촬영
• 2. 1200mm White Line Light 하나로 Bright field / Dark field 두 타입의 조명 효과 연출
• 3. 정상 마스크 자동학습 방식의 비정형성 패턴 검사 기능
• 4. 임계치(Threshold) 필터링 방식의 직접 검사 기능
• 5. 촬영과 검사가 분리된 비동기 검사로 100매까지 예약 검사 기능
• 6. 빠른 검사 성능으로 진행 마스크의 전수 검사 가능

Application

• - OLED Metal Mask(FMM, OMM)