OLED 증착 마스크 표면의 증착 Source 및 유기물 세정 장치로, FMM(Fine Metal Mask) 세정, OMM(Open Metal Mask) 세정, 고품질 및 효율 OLED 마스크 세정이 가능하다.

Feature

• 1. 2G, 4.5G, 5.5.G, 6G, 8G
• 2. FMM(Fine Metal Mask) 세정, OMM(Open Metal Mask) 세정
• 3. 고품질 고효율 OLED 마스크 세정
• - 화학 약액 및 DIW 운영 비용 절감
• - 유기/음극 세정 성능 향상
• - 고해상도 FMM/OMM에 최적화된 세정
• - 자동 매크로 검사 및 이미지 저장
• - 환경 안전 보건 규제로부터 자유로움
• - 확장된 친환경 솔루션
• - VVD(진공 증기 건조기)

ONE STOP TOTAL SOLUTION

• - Initial Mask Cleaning
• - Organic Mask Cleaning
• - TFE Mask Cleaning
• - Cathode Mask Cleaning