LCD 공정 중 초기에 기판을 세정하거나, 증착 전 기판을 세정하는 장비

Feature

• 1. 수평 Conveyor 방식
• 2. EUV, Disk & Roll-Brush, High Pressure & Twin Fluid Shower를 이용한 Particle 최소화
• 3. 비접촉 자력 반송 시스템으로 Fume 및 Particle 발생 억제
• 4. 배관부 최적 설계에 의한 Maintenance 공간 확보

Application

• - CF Cleaner, TF Cleaner, LTPS Cleaner(ELA, GI, SD)