TFT-LCD 공정 중 증착층을 P/R 모양에 맞추어 제거하는 장비

Feature

• 1. Tilt Conveyor를 통해 경사 반송을 실현하여 기판에 대한 반송능력 향상
• 2. EUV, Disk & Roll-Brush, High Pressure & Twin Fluid Shower를 이용한 식각 능력 & Uniformity 향상 및 Particle 최소화
• 3. 비접촉 자력 반송 시스템으로 Fume 및 Particle 발생 억제
• 4. 배관부 최적 설계에 의한 Maintenance 공간 확보

Application

• - TF Etcher, TF Stripper