Một thiết bị riêng biệt làm nóng nước hoặc các hóa chất cần thiết cho quy trình FPD và SEMI như DI Water, Demi Water, v.v. bằng phương pháp gia nhiệt nội tuyến.

Feature

• 1. Giao tiếp I/F ngược dòng/hạ lưu và HOST ON-LINE bằng phương thức giao tiếp (RS-485, ETHERNET, PIO)

• 2. Giám sát lượng điện năng và báo cáo HOST (ETHERNET)

• 3. KHÓA LIÊN QUAN ĐẾN AN TOÀN: Nút ấn EMO, Cầu dao, Cầu dao rò rỉ đất, Máy dò rò rỉ, Quá nhiệt độ, v.v.

• 4. Sử dụng MÁY SƯỞI công suất lớn 180KW

• 5. Chất liệu phần bị ướt: SUS316

• 6. Có chứng nhận CE hoặc SEMI