Thiết bị làm sạch chất nền sớm trong quy trình LCD hoặc trước khi lắng đọng

Feature

• 1. Phương pháp băng tải ngang

• 2. Giảm thiểu hạt bằng EUV, Đĩa & Bàn chải cuộn, Vòi sen chất lỏng áp suất cao & đôi

• 3. Ngăn chặn sự hình thành khói và các hạt bằng hệ thống vận chuyển từ tính không tiếp xúc

• 4. Đảm bảo không gian bảo trì thông qua thiết kế tối ưu phần đường ống

Application

• - CF Cleaner, TF Cleaner, LTPS Cleaner(ELA, GI, SD)