本设备是将DI Water, Demi Water等FPD, SEMI工程所需的Water或Chemical以In-line Heating方式加热的Unit

Feature

• 1. 依据通信方式，上下游 I/F及HOST ON-LINE通信 (RS-485,ETHERNET,PIO)

• 2. 监控电力量及HOST上报 (ETHERNET)

• 3. SAFETY INTERLOCK : EMO Push Button, Circuit breaker ,Earth leakage Circuit breaker,Leak detector, Over Temp等

• 4. 采用180KW的大用量HEATER

• 5. 接液部的材质: SUS316

• 6. 可获得CE或SEMI认证

• 7. 可对应瞬间停电

Application

• - LCD & OLED Chemical Rinse工程

• - Wafer Rinse工程

• - 提高清洗