在TFT-LCD 工艺中配合P/R的形状去除蒸镀层的设备

Feature

• 1. 通过Tilt Conveyor 实现倾斜搬送，提高基板搬送能力

• 2. 利用EUV, Disk &Roll-Brush, High Pressure &Twin Fluid Showe提高蚀刻能， Uniformity和实现 Particle 最少化

• 3. 运用非接触磁力搬送系统抑制Fume 和 Particle 的产生

• 4. 通过配管部的合理设计确保最便捷的PM使用空间

Application

• - TF Etcher, TF Stripper