在掩膜板清洗工艺前后对掩膜板进行宏观检测的设备

Feature

• 1. 考虑到金属面膜的多种表面反射度,动态拍摄最佳的掩模板影像

• 2. 利用一只1200mm White Line Light 可呈现Bright field / Dark field 两种type的照明效果

• 3. 正常掩膜板自动学习方式的非定型模式检查功能

• 4. 临界值(Threshold)过滤方式的直接检查功能

• 5. 摄影和检查分离的非同步检查,预约检查到100片

• 6. 快速检测性能,可对掩膜板进行全面检查