对LCD 工艺中基板的初期清洗或蒸镀前基板的清洗设备

Feature

• 1. 水平 Conveyor 方式

• 2. 利用 EUV, Disk & Roll-Brush, High Pressure & Twin Fluid Shower使 Particle 最少话

• 3. 利用非接触磁力搬送系统有效抑制 Fume 和 Particle 的产生

• 4. 通过配管部的合理设计确保最便捷的PM使用空间

Application

• - CF Cleaner, TF Cleaner, LTPS Cleaner(ELA, GI, SD)