Đây là thiết bị tự động làm sạch băng cassette/tạp chí sử dụng trong quá trình sản xuất CIS, được làm sạch bằng DIW hoặc DIW nóng phun qua vòi sen,

sau đó sấy khô bằng nhiệt bức xạ từ N2, CDA và đèn ánh sáng khả kiến.

Feature

• 1. Vận chuyển tự động bằng robot đa khớp (Full Auto System)

• 2. Triển khai thông lượng cao (Tối ưu hóa quy trình làm sạch)

• 3. Giảm dấu chân với thiết kế nhỏ gọn

• 4. Cung cấp giải pháp làm sạch đồng nhất và khô hiệu quả cao

• 5. Phản hồi của hệ thống tự động hóa FAB (OHT, RGV, Người vận hành)

• 6. Khu vực chứa Cassette/Tạp chí (Cất giữ Cassette/Tạp chí trước và sau khi vệ sinh)