Thiết bị làm sạch tự động gắn POD 200mm được sử dụng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn trên khay làm sạch,

vận chuyển nó bằng băng tải nội tuyến, làm sạch bằng DIW phun qua vòi sen, sau đó làm khô bằng cách phun CDA nóng.

Feature

• 1. Tự động quay trở lại bằng băng tải

• 2. Cung cấp giải pháp làm sạch đồng nhất và khô hiệu quả cao

• 3. Dựa trên tiêu chuẩn SEMI

• 4. Thực hiện thông lượng cao (Tối ưu hóa quy trình làm sạch)

Application

• - Quy trình làm sạch chất bán dẫn, 200mm (8")