Thiết bị trộn và cung cấp một lượng dung dịch hóa học cố định để làm sạch loại thiết bị được sử dụng trong quá trình làm sạch, khắc và tước tấm bán dẫn.

Feature

• 1. Pha trộn và cung cấp dung dịch hóa chất siêu chính xác (công nghệ được cấp bằng sáng chế bảo đảm)
•  - Đảm bảo linh hoạt về tỷ lệ pha trộn nồng độ cho từng dung dịch hóa chất tùy theo quy trình và đạt được độ tin cậy cao thông qua kiểm soát nồng độ siêu chính xác

• 2. Cấu hình mô-đun thiết bị cung cấp
•  - Bảo mật tính linh hoạt để dễ dàng đáp ứng với những thay đổi trong quy trình và môi trường người dùng

• 3. Thực hiện giảm chi phí và tiết kiệm năng lượng
•  - Đảm bảo khả năng cạnh tranh về chi phí và hiện thực hóa hiệu quả giảm thiểu hóa chất thông qua tiêu chuẩn hóa sản xuất mô-đun và tái chế hóa chất (Chức năng tái chế_DSP, LAL, SMF)