Đây là hệ thống cung cấp DIW nhiệt độ cao để làm sạch các tấm silicon dùng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn.

Nó sử dụng cấu trúc kép gồm đèn halogen và thủy tinh thạch anh, cùng phương pháp gia nhiệt không tiếp xúc để ngăn ngừa ô nhiễm tạp chất và mang lại độ sạch cao và thiết kế nhỏ gọn hiệu quả cao trong hệ thống sưởi DIW. Đó là một hệ thống.

Feature

• 1. Độ sạch cao và ngăn ngừa lây nhiễm chéo bằng cách sử dụng chất liệu giày cao cấp

• 2. Hệ thống sưởi: Thủy tinh thạch anh và đèn halogen 
• 3. Piping : Fluoropolymer application (PFA, PTFE, PVDF) 

• 4. Đội hình đa dạng

• 5. Mô hình cung cấp HDIW 12L ~ 48L

  6. Hiệu suất sưởi ấm cao

• 7. Áp dụng các biện pháp an toàn như quá nhiệt, cháy nổ, rò rỉ nước, mất điện tạm thời, động đất, v.v.