Thiết bị làm sạch FOUP thủ công/tự động cho các tấm bán dẫn 300mm được sử dụng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn.

Feature

• 1. Vận chuyển tự động bằng robot đa khớp (Full Auto System)

• 2. Triển khai thông lượng cao (Tối ưu hóa quy trình làm sạch)

• 3. Giảm dấu chân với thiết kế nhỏ gọn

• 4. Cung cấp giải pháp làm sạch đồng nhất và khô hiệu quả cao

• 5. Có sẵn nhiều loại FOUP & FOSB khác nhau (FOUP áp dụng tiêu chuẩn SEMI)

• 6. Ngăn chặn sự xâm nhập của chất gây ô nhiễm bằng dụng cụ mở nắp FOUP tự động trong thiết bị.