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디바이스는 반도체, DISPLAY, IT 융합 분야에서 세계 최고를 지향합니다.
디바이스는 탄탄한 기술력을 기반으로제작부터 설비까지 세정의 토탈 솔루션을 제공합니다.
OLED MASK CLEANER
OLED 증착 마스크 표면의 증착 Source 및 유기물 세정 장치로 FMM(Fine Metal Mask) Cleaning, OMM(Open Metal Mask) Cleaning, High quality & efficiency OLED Mask Cleaning이 가능하다.
SINGLE WAFER CLEANER
1Xnm 급 공정 능력, Compact한 디자인으로 뛰어난 처리량과 오염제어 기술을 갖추고 있다. 고급 소재와 친환경 공장 기술을 적용하며, 다중 프로세스 노즐 구성을 갖추어 높은 안정성과 신뢰성을 확보하고 SEMI 표준 및 CE 마크를 준수한다.
FILTER
생산조건에 요구되는 다양한 Filter 수용하고 있으며, 고품질과 고성능을 보장하기 위해 일본에서 직접 수입되고 있습니다. 생산필터는 전수검사를 거쳐 안정성을 확보하고 있으며, 고객의 요구사항에 맞게 맞춤형 생산이 가능합니다.