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Macro Inspection

  • TFT-LCD 공정 중 증착층을 P/R 모양에 맞추어 제거하는 장비
    특징
  • 1. 메탈 마스크의 다양한 표면 반사도를 고려한 촬영구도를 동적으로 운영하여 최적의 마스크 영상 촬영
  • 2. 1200mm White Line Light 하나로 Bright field / Dark field 두 타입의 조명 효과 연출
  • 3. 정상 마스크 자동학습 방식의 비정형성 패턴 검사 기능
  • 4. 임계치(Threshold) 필터링 방식의 직접 검사 기능
  • 5. 촬영과 검사가 분리된 비동기 검사로 100매까지 예약 검사 기능
  • 6. 빠른 검사 성능으로 진행 마스크의 전수 검사 가능
    Application
  • - LCD/ OLED