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POD Cleaner
(Cassette, Magazine)

  • 반도체 생산공정에서 사용되는 200mm POD를 세정용 Tray에 장착하여
    In-Line으로 구성된 Conveyor를 이용해 반송하면서 Shower Nozzle을 통해 분사되는 DIW를 이용하여 세정한 후 Hot CDA를 분사하여 건조하는 자동 세정 장비
    특징
  • 1. Conveyor에 의한 자동 반송
  • 2. 고효율 Clean Uniformity & Dry Solution 제공
  • 3. SEMI Standard 기준
  • 4. High Throughput 구현 (Cleaning Process의 최적화)
    Application
  • - 반도체 세정 공정, 200mm(8”)