사업영역
반도체
- FOUP Cleaner
- POD Cleaner
- Wet Station
- Chemical Delivery
Supply System - Metal Lift Off
- Cassette
& Magazine Cleaner
Cassette & Magazine Cleaner
CIS 생산공정에 사용되는 Cassette/ Magazine을 자동으로 세정하는 장치로써 Shower Nozzle을 통해 분사되는 DIW 또는 Hot DIW를 이용하여 세정 후 N2 및 CDA, 가시광 Lamp의 복사열을 이용하여 건조하는 장비
Feature
- 다관절 Robot에 의한 자동 반송(Full Auto System)
- High Throughput 구현(Cleaning Process 최적화)
- Compact한 설계로 Footprint 절감
- 고효율 Clean Uniformity & Dry Solution 제공
- FAB Automation System 대응(OHT, RGV, Operator)
- Cassette/Magazine Stock Area(세정 전, 후 Cassette/Magazine 보관)
- SEMI Standard, CE Mark 기준
Application
- CIS 생산공정
