사업영역
반도체
- FOUP Cleaner
- POD Cleaner
- Wet Station
- Chemical Delivery
Supply System - Metal Lift Off
- Cassette
& Magazine Cleaner
POD Cleaner
Cassette, Magazine
반도체 생산공정에서 사용되는 200mm POD를 세정용 Tray에 장착하여
In-Line으로 구성된 Conveyor를 이용해 반송하면서 Shower Nozzle을 통해 분사되는
DIW를 이용하여 세정한 후 Hot CDA를 분사하여 건조하는 자동 세정 장비
Feature
- Conveyor에 의한 자동 반송
- 고효율 Clean Uniformity & Dry Solution 제공
- SEMI Standard 기준
- High Throughput 구현 (Cleaning Process의 최적화)
Application
- 반도체 세정 공정, 200mm(8")
