사업영역
디스플레이
- OLED Mask Cleaner
- Glass Cleaner
- Etcher & Stripper
- Auto Marco Inspection
- Stream-Jet Printing
- Lamination M/C
- Roll To Roll System
- HOT DI UNIT
HOT DI UNIT
DI Water, Demi Water등 FPD, SEMI 공정에 필요한 Water 또는 Chemical을 In-line Heating 방식으로 가열하는 별치 Unit
Feature
- 통신 방식에 의한 상하류 I/F 및 HOST ON-LINE 통신(RS-485,ETHERNET,PIO)
- 전력량 모니터링 및 HOST 보고 (ETHERNET)
- SAFETY INTERLOCK : EMO Push Button, Circuit breaker ,Earth leakage Circuit breaker,Leak detector, Over Temp등
- 180KW의 대용량 HEATER 채용
- 접액부 재질: SUS316
- CE 또는 SEMI 인증 가능
- 순간 정전 대응
Application
- LCD & OLED Chemical Rinse 공정
- Wafer Rinse 공정
- 세정력 향상
