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Macro Inspection

시각적으로 확인되는 정형 혹은 비정형 결함 패턴을 자동으로 검사하는 장비

OLED 증착을 사용하여 Metal Mask(FMM,Open Mask) 검사 가능

Macro Inspection
Feature
  1. 메탈 마스크의 다양한 표면 반사도를 고려한 촬영구도를 동적으로 운영하여 최적의 마스크 영상 촬영
  2. 1200mm White Line Light 하나로 Bright field / Dark field 두 타입의 조명 효과 연출
  3. 정상 마스크 자동학습 방식의 비정형성 패턴 검사 기능
  4. 임계치(Threshold) 필터링 방식의 직접 검사 기능
  5. 촬영과 검사가 분리된 비동기 검사로 100매까지 예약 검사 기능
  6. 빠른 검사 성능으로 진행 마스크의 전수 검사 가능
Application
  1. OLED