사업영역
디스플레이
- OLED Mask Cleaner
- Glass Cleaner
- Etcher & Stripper
- Auto Marco Inspection
- Stream-Jet Printing
- Lamination M/C
- Roll To Roll System
- HOT DI UNIT
Etcher & Stripper
Cleaner
TFT-LCD 공정 중 증착층을 P/R 모양에 맞추어 제거하는 장비
Feature
- Tilt Conveyor를 통해 경사 반송을 실현하여 기판에 대한 반송능력 향상
- EUV, Disk & Roll-Brush, High Pressure & Twin Fluid Shower를 이용한 식각 능력 & Uniformity 향상 및 Particle 최소화
- 비접촉 자력 반송 시스템으로 Fume 및 Particle 발생 억제
- 배관부 최적 설계에 의한 Maintenance 공간 확보
Application
- TF Etcher, TF Stripper
