사업영역
디스플레이
- OLED Mask Cleaner
- Glass Cleaner
- Etcher & Stripper
- Auto Marco Inspection
- Stream-Jet Printing
- Lamination M/C
- Roll To Roll System
- HOT DI UNIT
Glass Cleaner
Cleaner
LCD 공정 중 초기에 기판을 세정하거나, 증착 전 기판을 세정하는 장비
Feature
- 수평 Conveyor 방식
- EUV, Disk & Roll-Brush, High Pressure & Twin Fluid Shower를 이용한 Particle 최소화
- 비접촉 자력 반송 시스템으로 Fume 및 Particle 발생 억제
- 배관부 최적 설계에 의한 Maintenance 공간 확보
Application
- CF Cleaner, TF Cleaner, LTPS Cleaner(ELA, GI, SD)
